低真空热处理是真空热处理范畴中的一支生力军，是一种廉价的真空热处理技术；改变炉压可迅速排除炉膛内氧、水蒸气等有害气体，可加速渗碳、渗氮过程。综合低真空热处理和变压热处理的优点研制了低真空变压热处理技术及其工艺装备。它是20世纪40-50年代水平的箱式炉、井式炉和大部分盐浴淬火炉更新换代佳品，适用于工模具和机械零件的热处理。

低真空变压原理制造的热处理设备，可克服“老三炉”（箱式炉、井式炉、盐浴炉）存在的缺点，拥有真空炉和可控气氛炉的一些优点，可实现无氧化加热，又可实现可控气氛加热，售价低、维修易。此外，此项技术还拥有自动改变炉压得功能，从而达到快速排气和提高渗碳、渗氮速度之目的。

上世纪80年代初，在研制高速工具氧氮共渗技术时，开始用低真空原理制造设备和试验配套工艺，（即低压氧氮共渗技术），工件在设定的低真空上限下限范围内自行循环加热，炉气在设定的时间周期内自行反复吐故纳新，解决了在渗碳、渗氮过程的密装生产、炉气老化、渗层均匀性等难题；根据适当增加炉压可增加N、C原子渗速，在低真空变压的基础上增加正压变压的工艺过程。这种先在低真空范围变压加热，接着进行正压变压加热的工艺及其设备称为低真空变压热处理技术。炉膛在低真空至正压大范围变压加热，以中性气体迅速置换炉膛中的空气，水分等氧化物质，而后充以工艺规定的渗剂，使工件在设定的气氛中加热，加热后如果在炉内冷却即可实现无氧化，无脱碳淬火；如果加热后在炉外冷却，则工件从炉中取出时同空气接触，产生少量氧化而实现少无氧化加热。