扩散脱氧一般是用于电炉还原期，或钢水炉外精炼。

首先用炭粉、Fe-Si粉、Ca-Si合金粉、Al粉和石灰等材料造还原渣，脱除渣中的氧，使渣中FeO含量极低(约小于1.0％)，进而降低钢中氧含量，达到脱氧的目的。根据分配定律：在一定温度下，氧在熔渣与钢水中的溶解达到平衡时，FeO在渣与钢中的质量分数之比是个常数。当渣中FeO含量降低时，平衡被破坏，为了保持在此温度下的分配常数，钢中氧必然向渣中扩散，从而降低了钢中氧含量，达到脱氧的目的。

扩散脱氧的产物存在于熔渣中，因而有利于提高钢水的纯净度，但扩散速度慢，脱氧时间较长。可以通过吹氩搅拌，或钢、渣混冲等方式加速脱氧进程。