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收藏词条   编辑词条 区域匀平法锗单晶

创建时间:2008-08-02

 区域匀平法锗单晶(zone 1eveling gemanium single crystal) 

 用水平区熔法生长的锗单晶是一种半导体锗材料。在充氮和氢混合气体的水平区熔炉中,以高频感应加热,在料舟始端的籽晶与多晶料锭处产生一熔区,待掺杂的杂质也加入到这开始的熔区中,然后使熔区以12mmmin的速度向料舟的另一端移动,单晶便在籽晶上不断生长。当熔区通过整个料舟后,单晶便生长完毕。由于杂质的分凝效应,加入到开始熔区中的掺杂剂便比较均匀地分布在整个单晶锭上(最末端一个熔区的长度除外),故称区域匀平法。

  区域匀平法锗单晶为梯形截面,电阻率沿长度分布均匀,产品合格率高。而且设备简单,容易操作,因而成本低。但由于热场不对称,单晶受到料舟的束缚,故晶体的完整性较差。区域匀平法在国外广泛用于生长锗单晶。这种单晶主要用于制造二极管和晶体管。

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最近更新:2009-07-21
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