利用挥发性金属化合物蒸气分解或与其他气体间的化学反应获得超细粉末的一种粉末制取方法。

根据化学反应的形式，化学气相沉积制粉法可以分为5种：

(1)热分解法。是利用金属或非金属化合物蒸气在一定温度下进行热分解来获得粉末的方法。例如金属羰基化合物热分解：。

(2)氢还原法。是利用氢气在一定温度下还原化合物来获得粉末的方法。例如：。

(3)复合反应法。是利用两种或两种以上成分同时进行化学反应来获得粉末的方法。例如。

(4)固相扩散反应法。是将金属粉末置于气相原料分解后所产生的元素中，进行氮化、碳化、硼化和氧化等反应来获得复合粉末的方法。例如。

(5)置换反应法。是利用置换反应进行气相沉积来获得粉末的方法。例如。

必须指出，上述反应都必须在一定的温度、压力条件下进行。

化学气相沉积制粉法大部分用来制备超细金属、非金属及复合物粉末，它具有工艺简单、粒度容易控制及粒度分布窄等特点，可以制取纯金属粉末及合金粉末(如铁、钴、镍、钨、钼、铁一钴、铁一钴一镍等)。化学气相沉积法的特点是，用来制备陶瓷粉末(如氮化物、碳化物、碳氮化物、硼化物、氧化物等)。除用于一般的粉末冶金制品外，主要用于制造精细陶瓷制品。这些制品包括：电磁元件、机械零件、化学医疗器件、热物性制品、光学器件及其他结构件。用化学气相沉积法制备的陶瓷粉末加工成精细陶瓷具有耐氧化、耐腐蚀、耐热冲击、高温强度好等特性，今后有可能部分代替目前使用的轴承钢、耐热钢、不锈钢、硬质合金和超合金等材料。