收藏词条 编辑词条 高压合成炉
创建时间:2008-08-02
用于合成在熔点有高离解压的化合物半导体材料的装置,为高压单晶炉提供多晶料,已在生产中使用的半导体材料专用设备。图为高压合成炉示意图。高压合成炉实际上是带高压炉室的水平三温区炉。以磷化镓合成为例,磷和装镓的石墨管真空密封在石
高压合成炉示意图
英反应器内。1区(温度520~540℃)控制反应管内磷蒸汽压,3区温度(800℃)高于1区以防止磷蒸汽沉积,2区由高频加热线圈和装镓的石墨管组成,在一定温度下(1200~1400℃)磷和镓在此区合成。随着反应器向左移动(3~5cm/h),GaP多晶锭由左向右生长。密闭反应器外维持一恒定压力(2.0MPa)与反应器内的磷蒸汽压(1.O~2.0MPa)平衡,以避免反应器在合成过程中爆裂。选择精密温度控制仪合理控制各区温度、加工高质量的石英反应器和仔细封口是避免反应器爆裂的关键。每炉多晶合成量1~3kg或更多,合成周期为8~12h。